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產(chǎn)品中心/ products
Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備
聯(lián)系電話:021-62318025
Parylene 派瑞林涂層技術(shù):
Parylene 是一種高性能的聚合物涂層材料,學(xué)名是聚對(duì)二甲苯,通過(guò)一種特別的化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝涂覆在物體表面。這個(gè)過(guò)程在室溫、真空環(huán)境下進(jìn)行,生成的薄膜具有高度的保形性(能均勻覆蓋復(fù)雜形狀、銳邊、縫隙和針孔)、無(wú)針孔、透明、生物相容性好、化學(xué)惰性強(qiáng)、優(yōu)秀的電絕緣性和阻隔性能(防潮、防腐蝕氣體、防鹽霧等)。
Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè),包括航天航空、半導(dǎo)體、新能源、軍工、汽車(chē)、手機(jī)、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。通過(guò)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤(rùn)滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。
PPS所提供的Parylene 派瑞林真空鍍膜系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢(shì):
1、在真空腔體中集成等離子源
2、兼容超凈間的系統(tǒng)設(shè)計(jì)
3、經(jīng)過(guò)驗(yàn)證且具有完整可塑性的生產(chǎn)流程
4、可以提供從定制化的涂覆系統(tǒng)和量身定制的工藝開(kāi)發(fā),到全面的耗材、備件供應(yīng)以及長(zhǎng)期的技術(shù)支持服務(wù)
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)型機(jī)型,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機(jī)型。同時(shí),我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,實(shí)現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M(jìn)行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性。另外,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計(jì),在小占地面積下提供高性能技術(shù),節(jié)約大量的超凈間占地空間。
相關(guān)型號(hào):
型號(hào) | Series 100 | Series 300 | Series 2000 | Series 3000 | Series 3000 CR | Multi-chamber |
工藝腔體 DxH | 300x300mm | 450x500mm | 400x600mm | 700x800mm | 700x800mm | 300Lx300Wx300H(3個(gè)腔室) |
設(shè)備尺寸 LxWxH | 850x900x1600mm | 1050x1220x1920mm | 960x2600x1460mm | 2095x800x1450mm | 2095x800x1450mm | 1050x1220x1920mm |
冷卻系統(tǒng) | 4L機(jī)電冷卻阱 | 4L機(jī)電冷卻阱 | 8L機(jī)電冷卻阱 | 8L機(jī)電冷卻阱 | 8L機(jī)電冷卻阱 | 8L機(jī)電冷卻阱 |
泵系統(tǒng) | 10m3/h | 最大50m3/h | 10m3/h | 75m3/h | 75m3/h | 40m3/h(3臺(tái)) |
等離子源 | 2.45GHZ,最大600W | 選配 | 2.45GHz,最大1200W | 2.45GHz,up to 1200W | 2.45GHz/1200W; 13.56MHz/600W |
PPS 提供多樣化的定制化實(shí)驗(yàn)室涂布設(shè)備,配備多種可選裝置與附加組件,旨在確保涂層工藝的成功實(shí)施、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數(shù)系統(tǒng)均具備以下功能配置:
- 可定制腔體尺寸
- 支持選配等離子體源
- 配備冷卻系統(tǒng)及集成泵系統(tǒng)
Parylene System 3000 LV300 是一款模塊化設(shè)計(jì)的系統(tǒng),主要由兩部分組成:腔室模塊與蒸發(fā)器模塊。我們眾多設(shè)備均采用此類(lèi)模塊化設(shè)計(jì),旨在確保系統(tǒng)的靈活性,從而能夠根據(jù)客戶(hù)需求對(duì)幾乎任何組件進(jìn)行定制化調(diào)整。其中,“3000"代表產(chǎn)品系列,而“LV300"則用于標(biāo)識(shí)機(jī)器腔室的尺寸規(guī)格。該尺寸設(shè)計(jì)主要取決于您單次運(yùn)行中需要涂覆的基板尺寸及數(shù)量要求。 我們所提供的腔室最大容積可達(dá) 1000 升。此外,該系統(tǒng)標(biāo)配等離子源,并可選配旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)、加熱/冷卻臺(tái)以及多達(dá) 3 個(gè)質(zhì)量流量控制器,以滿(mǎn)足不同氣體入口的需求。
一體化泵架能夠顯著減少顆粒物排放,從而為潔凈室在最嚴(yán)苛的環(huán)境下提供更為清潔和緊湊的整體解決方案。 該系統(tǒng)已被全球眾多潔凈室設(shè)施及高等院校廣泛采用,且其應(yīng)用范圍與使用數(shù)量仍在持續(xù)增長(zhǎng)。
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